16日下午，科技部高新司司长李健带队，计划司、合作司和火炬中心等领导一行12人来到沈阳自动化研究所，辽宁省科技厅和沈阳市科技局等有关领导陪同。李健司长等先后参观考察了沈阳新松机器人自动化股份有限公司和沈阳芯源先进半导体技术有限公司。

    新松公司是科技部首批“国家高技术研究发展计划成果产业化基地”，近3年来，形成了工业机器人产品及应用、自动化成套技术装备、仓储物流自动化技术及装备三大主导产业。先后获得20余项国家发明或实用新型专利，产品全部拥有自主知识产权和核心技术。芯源公司是沈阳自动化所先进制造技术公司(AMT)最近与韩国半导体技术公司(STL)共同投资，以研发、生产半导体设备为主的中外合资高新技术企业。主营产品Track system (Coater & Developer), 用于对晶片的涂胶、显影处理、与光刻机配合工作等，是半导体制造前道工序的关键设备。整个流程通过高精度机械手，实现晶片表面处理、热烘、冷却以及涂胶、显影等单元间连续、精确地传递和处理。

    所长王越超、副所长于海斌，新松公司总经理曲道奎和芯源公司总经理宗润福等汇报了有关工作的进展情况，并表示：全所职工一定抓住机遇，努力为建设知识创新工程先进制造基地和振兴东北现代化装备制造业基地做贡献。(成林)