本报讯(沈阳日报、沈阳网记者傅淞岩特约记者林宽)目前，由沈阳芯源微电子设备有限公司(简称沈阳芯源)承担的2012年度国家02科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目顺利通过验收，标志着我国前道芯片制程领域用匀胶显影设备在国产化进程中又迈出了重要的一步，不仅打破了该类设备一直由国外生产厂商长期垄断的局面，也填补了国内该项技术空白，为我国前道芯片制程匀胶显影设备进入前段市场打开了突破口。 

　　该项目的市场化、产业化，将为沈阳芯源带来新的增长突破点，同时引领辽沈地区由传统加工业进入精密加工行业，带动产业优化升级，推动辽沈地区集成电路产业规模化、集聚化发展。 

　　沈阳芯源成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创办的国家重点高新技术企业，主要从事集成电路高端装备的研发、制造、销售与技术服务。集成电路高端装备号称行业的“印钞机”，长期以来一直由国外企业一统天下。由于国外设备造价高、服务费用高，使国内客户不堪重负。沈阳芯源的技术攻关也就是在这样的大背景下展开的。 

　　沈阳芯源，这个仅有200名员工的企业成功打破了国外产品在中国市场的垄断。他们依靠与市场互动的科技研发机制，在消化吸收国外先进技术基础上，先后取得276项技术专利，自主研制的主导产品匀胶显影设备广泛应用于LED、高端封装等领域，匀胶显影技术达到国际先进水平，成功替代了进口产品。 

　　从做LED领域的半导体制造设备起步，仅用10多年的时间，沈阳芯源一步步突破IC装备制造业细分领域国外垄断：从第一个将国产设备推广应用于集成电路8英寸生产线，到研制出国产首台12英寸凸点工艺匀胶产品， 

　　再到打入台湾地区市场的喷胶机、匀胶显影设备。沈阳芯源实现集成电路设备核心部件国产化，也抢占了我国集成电路高端装备研发制造的制高点。迄今为止，沈阳芯源承担并完成了2项国家科技重大专项，获得国家经费1.25亿元，成果产业化势头良好。 

　　沈阳芯源凭借着“技术创新紧贴市场”的理念，打造了集成创新模式，主导产品匀胶显影设备在本技术领域居国内第一，达到国际先进水平。在LED匀胶显影设备领域占领国内市场份额超过50%，而且凭借低成本、高性能的优势销往海外市场，稳步成长为一家具有国际竞争力的半导体高端装备及工艺解决方案提供商。 

　　（原载于《沈阳日报》 2016-04-22  A2版）